美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵，采用 TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。
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| 更新時(shí)間 | 2020-07-16 |
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高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證較佳的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵*的軸承和干式潤滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵特性：
1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對(duì)小分子氣體的高壓縮比實(shí)現(xiàn)了高性能和小的系統(tǒng)占用空間。
2.高前級(jí)耐壓 — 允許使用更小的前級(jí)泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng)、低噪音和穩(wěn)定軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并保證長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
4.*的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油，實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達(dá)到max化，可在泵的操作條件下達(dá)到穩(wěn)定通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應(yīng)用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到穩(wěn)定性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用：
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 |
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| 科研中的真空應(yīng)用 |
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| 工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
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| 納米技術(shù)儀器 |
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美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵性能指標(biāo) ：
| 抽速： | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
| N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
| 高氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 （空氣溫度 25 °C） | 水冷 （水溫 15 °C/室溫 25 °C） | |
| N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
| He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
| Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
| (*) 前級(jí)泵 11.6 m3/h | |||
| 壓縮比與前級(jí)耐壓關(guān)系* | |||
| N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
| (*) 前級(jí)耐壓定義為，在水冷模式下，當(dāng)渦輪泵仍能產(chǎn)生 100 的壓縮比時(shí)的壓力 | |||
| 采用推薦前級(jí)泵時(shí)的極限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
| 抽氣口法蘭 | ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸 | ||
| 前級(jí)管道法蘭 | NW25 或 NW40 | ||
| 推薦的前級(jí)泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
| 工作位置 | 任意 | ||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
| 潤滑油 | yongjiu性脂潤滑 | ||
| 冷卻要求 | |||
| 風(fēng)冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | ||
| 水冷 | 水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速低 100 L/h | ||
| 噪音壓力級(jí)別 （全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處） | 43 dB(A) |