Agilent TwisTorr 704 FS渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 704 FS 泵*的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
型號 | |
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更新時間 | 2020-08-14 |
訪問次數 | 1818 |
Agilent TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計,變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動,并能保證*的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,zui大程度減少系統(tǒng)停機時間,并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 704 FS 泵*的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機架控制器。
Agilent TwisTorr 704 FS渦輪分子泵特性:
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現了高性能和zui小的系統(tǒng)占用空間。
高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和*軸承工作條件可延長泵的使用壽命,從而實現使用維護成本優(yōu)化,zui大程度減少系統(tǒng)停機時間,并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。
*的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油,實現任意角度安裝。
“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到zui大化,可在泵的操作條件下達到*通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到*性能。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
Agilent TwisTorr 704 FS渦輪分子泵典型渦輪泵應用:
領域 | 詳細說明 | 應用 |
質譜和分析儀器 |
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科研中的真空應用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設備加工:
一般工藝:
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納米技術儀器 |
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性能指標:
抽速: | ISO 160/CF 8 英寸 | |
N2 He H2 Ar | 660 L/s 640 L/s 480 L/s 625 L/s | |
全轉速氣體流量(使用推薦的推薦前級泵)* | 環(huán)境溫度 (25 °C) | 水溫: (25 °C,50 L/h) |
He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM |
N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.2 mbar L/s 367 SCCM |
Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM |
(*) 前級泵 11.6 m3/h | ||
壓縮比與前級耐壓關系* | ||
N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar |
(*) 前級耐壓定義為,在水冷模式下,當渦輪泵仍能產生 100 的壓縮比時的壓力 | ||
采用推薦前級泵時的極限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | |
抽氣口法蘭 | ISO 160K,ISO 160F,CFF 8 英寸 | |
前級管道法蘭 | NW25(NW40 為可選附件) | |
推薦的前級泵 | DS302 IDP10 IDP15 | |
工作位置 | 任意 | |
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |
潤滑 | yognjiu性脂潤滑 | |
冷卻要求 | ||
風冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | |
水冷 | 水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速zui低 100 L/h | |
噪音壓力級別 (全速運行時距離 1 m 處)(磅): | 43 dB(A) |